化学气相沉积
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薄膜制备核心技术:PVD、CVD与ALD的流程差异及性能对比
说明:本文华算科技通过介绍物理气相沉积、化学气相沉积以及原子层沉积的定义、工艺流程、优缺点以及应用,系统性地介绍了这三种薄膜沉积技术的异同,带领读者更深入地探索薄膜沉积技术。 …
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物理气相沉积(PVD)、化学气相沉积(CVD)、原子层沉积(ALD):原理、关键类型(电子束蒸发/PECVD/PE-ALD)、工艺流程与选型指南
说明:本文华算科技主要介绍PVD、CVD、ALD的基本原理、关键类型(如PVD的电子束蒸发、CVD的PECVD、ALD的PE-ALD)、工艺流程,包含各技术的优缺点与应用场景,可以…
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一文说清化学气相沉积(CVD)类型划分、影响因素详解,带你看懂薄膜技术现状与未来方向
说明:文章华算科技系统介绍了化学气相沉积(CVD)技术,阐述了其通过气态前驱体反应生成固体薄膜的原理、反应机制、不同类型及关键影响因素。读者可以学到CVD如何通过控制温度、前驱体和…