说明:本文华算科技主要介绍常规材料测试中 XRD、SEM、TEM、XPS 的常见送样量、实际上机量和样品状态,并区分普通粉末、块体、薄膜、少量样品与空气敏感样品。
对常见、稳定的无机粉末,可先按XRD 0.2–0.5 g、SEM 5–20 mg、TEM 1–5 mg、XPS 10–30 mg分装。它们是便于装样、复测和回收的常见起始量,不是四台仪器统一执行的硬标准;平台样品台、附件和测试目标不同,最终要求应以接样实验室为准。


四种仪器读取的对象并不相同。XRD 需要足够大的、近似随机取向的受照粉末层;SEM 观察固定在样品台上的表面;TEM 依赖电子可以穿透的极薄区域;XPS 只读取最外层约数纳米的化学状态。
决定能否测试的往往是几何和状态,而不是天平上的总质量,同一小瓶粉末在四种样品托上的可用比例并不相同。四台仪器的装样口径不能用一个称量数字替代。
还要区分两个数字:实际上机量是样品托、导电胶或铜网一次容纳的量,建议送样量则要覆盖转移损失、重新装样、寻找代表区域和必要复测。SEM、TEM 的实际消耗可能只有微克到毫克,送样时仍应留出可操作余量。

图1. 同一材料的 XRD、XPS、SEM 与 TEM 结果分别对应体相衍射、表面化学态和不同空间尺度的形貌结构。DOI:10.1038/s41467-018-07484-4
代表性同样会改变分样策略。粉末批次若存在沉降、粒径分级或局部团聚,应先在干燥、洁净条件下轻柔混匀,再分装;块体和薄膜则要保留目标面、截面方向、基底和处理历史。同一质量不等于同一代表性,取自瓶口和瓶底的颗粒群可能给出不同结果。分装位置和混匀方式需要写入实验记录。
因此,分样前应先写清需要回答的问题:物相、表面形貌、晶格缺陷还是表面价态。测试目标决定样品形态,样品形态再决定数量;直接把母样四等分,容易出现 XRD 不够填槽、TEM 过厚或XPS 表面已经被污染的情况。

XRD:粉末量要覆盖受照面积
常规反射式粉末 XRD 的样品槽一次通常使用约80–100 mg;为便于压平、重装和复测,送样可准备 0.2–0.5 g。零背景硅片或微量槽可把实际上机量降到约 10–25 mg,个别方案还能更少,但受照面积缩小后计数统计和背景更敏感。
状态上优先选择干燥、均匀、细化后的粉末。常见实验室建议把颗粒研细到约 10 μm 量级,并让粉末表面平整、充满受照区且与样品托齐平。块体和薄膜不要求磨成粉,但待测面要平整,并提前说明基底、膜厚和希望采用的入射几何。

图2. XRD 受照区域、零背景平板与带槽零背景样品托,说明微量装样仍需覆盖实际照射几何。DOI:10.1107/S1600576724011920
少量样品不宜勉强填普通深槽,因为低于基准面会引入样品位移误差,过薄又会增加基底贡献。样品不足时应改用微量托、零背景托或毛细管附件,相应数据要保留基底空白。易吸水、易氧化或会与空气反应的粉末还要使用密封罩、毛细管或惰性气氛转移。
SEM为何强调固定牢固而非样品量?
粉末SEM 的一次装样通常只需一小药匙尖,在导电胶上形成稀疏、近似单层的颗粒分布;实际消耗常低于 1 mg。为了重复装样和寻找代表区域,可送5–20 mg。块体只需保留目标表面的代表性小片,常见样品台更偏好约 10 mm 以内的横向尺寸;若边长或高度超限,样品会无法固定、找平或安全靠近极靴。
常规高真空 SEM 要求样品干燥、无挥发物、不会在真空中脱落。粉末应牢固粘在导电胶或其他适配基底上,并吹除松散颗粒;绝缘样品需要建立导电通路、喷镀薄层导电材料,或改用低真空模式。
湿样、含油样和松散粉末不能直接按常规高真空条件送入,它们要改用环境、低真空或冷冻路线。所选模式会同时改变真空水平和可用探测信号。

图3. 导电石墨烯覆盖与未覆盖湿样的 SEM 对照,显示导电连接和真空稳定状态会改变充电与成像质量。DOI:10.1038/ncomms8384
若还要做EDS,喷镀元素和粘接基底必须避开目标元素:碳胶会抬高碳信号,金、铂或钯镀层也会带来对应峰。形貌观察和成分分析可能需要两种装样方案,不能默认一只样品台兼顾所有任务。
SEM 送样单还应标出希望观察的面。断口、抛光面、涂层表面和截面承担不同问题;若方向没标清,再多样品也可能只拍到错误区域。表面朝向、固定方式和导电路径应与样品质量一起交代,操作人员才能把目标面放到合适工作距离。截面朝向错误时,重新装台也无法恢复已经破坏的目标面。

TEM为何必须制备电子透明薄区?
纳米粉末做常规 TEM,可送1–5 mg 干粉,或送 50–100 μL 的稳定稀分散液;常见分散浓度约 0.1–1 mg/mL。一次铜网通常只滴加约 3–5 μL,干燥后真正留在网膜上的固体量可低至微克甚至更少。
粉末要能形成分散、不过厚的颗粒区,并避免大量盐、表面活性剂或不挥发溶剂残留。
块体、涂层和界面样品则不以“送多少克”判断,而要通过离子减薄、超薄切片或 FIB 制成电子透明区;常规观察常要求小于约 100 nm,原子分辨成像或精细能谱往往需要更薄、局部低于约 50 nm。
TEM 的门槛是厚度,不是母样重量,厚区会增加多重散射并遮住局部结构。

图4. 块体材料经 FIB 粗切、提取、安装和逐级减薄形成 TEM 电子透明窗口。DOI:10.1038/s41598-021-00595-x
需要看界面时,应保留包含目标层、反应区或裂纹尖端的代表性小片,并明确截面方向;需要看粉末粒径时,应避免只挑最容易分散的小颗粒。铜网上颗粒越多不代表信息越充分,过厚重叠会降低透射并掩盖晶格和衍射信息。稀疏区域和团聚区域宜分别记录。
XPS:表面几纳米决定结果
粉末XPS 的实际上机量常以覆盖约 5 mm × 5 mm 的铟箔、金属片或导电胶为准,约 5–10 mg 往往已经可操作;建议送10–30 mg,以便压片、重新铺样和复测。块体或薄膜常准备 5–10 mm 见方、厚度约 2–4 mm 以内的平整小片,具体上限由样品架决定。
XPS 样品必须干燥、洁净、真空稳定,且不得残留挥发性溶剂。由于信息主要来自表面约 1–10 nm,手触、胶带残留、清洗剂、长时间空气暴露都可能成为主要信号。空气敏感样品要在手套箱中分装,并预约密封或真空转移;到达平台后再说明需要原始表面还是允许刻蚀。

图5. 钙钛矿表面与刻蚀 10 nm 后的 XPS 组成和 Sn 3d 化学态对照,体现表层与内部信息并不等同。DOI:10.1038/s41467-024-51703-0
粉末压入铟箔时会引入铟,碳胶会引入碳,基底也可能贡献自身元素。若研究对象正是 In、C 或基底相关元素,应在送样前告知平台并更换固定方式。XPS 的固定材料必须纳入元素干扰清单,空白基底谱可帮助辨认重叠来源。固定材料空白应与样品采用可比的采集条件。
TEM 与XPS 都可能只读取母样中的极小部分,但两者的代表性风险不同:TEM 容易被“挑到哪一颗、薄到哪一区”支配,XPS 容易被“最外层经历了什么”支配。前者要控制取样位置和薄区,后者要控制表面历史,两类结果都不能自动代表整瓶粉末。

对均匀、空气稳定的粉末,可从同一混匀母样中依次分出:XRD 0.2–0.5 g、XPS 10–30 mg、SEM 5–20 mg、TEM 1–5 mg。每份使用独立洁净小瓶,标签同时写样品编号、处理条件、危险性和是否回收,避免只写仪器名称而丢失样品身份。
空气敏感样品应在手套箱内先完成分装,优先保护 XPS 的原始表面和 TEM 的目标界面,再选择带密封附件的 XRD 路线;SEM 是否允许暴露则取决于要观察的是原始表面还是空气反应后的状态。
不要先把全部母样研磨、清洗或喷镀,再决定四种测试,这些操作可能永久改写其他表征对象。气密容器和转移附件还要记录离开惰性气氛的时间。

图6. XRD 微量粉末顶层撒样法的制样流程,强调黏附层均匀、颗粒单层覆盖并清除多余粉末。DOI:10.1107/S1600576724011920
这种顶层撒样路线只消耗单层颗粒,却仍要求颗粒固定、覆盖均匀并去除多余粉末;相同思路也说明,微量方案改变的是装样几何,不是简单把常规质量按比例缩小。
微量样品应优先保障哪种表征?
样品不足时,不应按固定比例缩小四份。先确认最不可替代的信息和平台的最小装样附件:XRD 通常最受受照面积限制;SEM 与TEM 可以从少量粉末中取样;XPS 虽耗样少,却要求连续覆盖和洁净表面。微量样品应先和平台确认样品托,再决定分配,否则分完后仍可能无法覆盖有效区域。
送样单可直接写四项:样品总量与形态、必须保留的表面或方向、敏感性、科学问题。若需要EDS、HRTEM、价态深度剖析或原位测试,还要单独注明,因为这些附加任务会改变导电镀层、薄片厚度、固定材料或转移方式。

可执行的判断标准是:XRD 能形成平整且覆盖受照区的样品层,SEM 能在真空中牢固固定并控制充电,TEM 能找到有代表性的电子透明区,XPS 能保住目标表面并避免固定材料干扰。
达到这四个状态后,额外增加质量才主要是复测余量,此时再按平台要求增加备用量即可。
