辐照损伤
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透射电镜样品离子减薄技术:低能损伤控制与非晶化研究
总结:本文围绕透射电镜(TEM)样品的离子减薄制备技术展开,详细介绍了离子减薄过程中损伤(如非晶层形成、表面粗糙化)的产生机制,系统梳理了硅和GaAs材料在不同离子能量、入射角下的…
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电镜(TEM/SEM)中的辐照损伤——一文读懂辐照损伤类型、阈值规律与防护策略
总结:本文详细介绍了透射电子显微镜(TEM)与扫描电子显微镜(SEM)中辐照损伤的核心机制——包括弹性散射引发的原子位移、电子束溅射,非弹性散射导致的电子束加热、静电充电、无机/有…