沉积

• 材料科学与工程

  物理气相沉积(PVD)、化学气相沉积(CVD)、原子层沉积(ALD)：原理、关键类型（电子束蒸发/PECVD/PE-ALD）、工艺流程与选型指南

  说明：本文华算科技主要介绍PVD、CVD、ALD的基本原理、关键类型（如PVD的电子束蒸发、CVD的PECVD、ALD的PE-ALD）、工艺流程，包含各技术的优缺点与应用场景，可以…

  华算科技

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