应变缺陷
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TEM电子衍射在异质结构应变缺陷表征中的应用
总结：本文详细介绍了电子衍射技术在半导体异质结构应变缺陷表征中的核心应用，系统阐述了四种关键电子衍射技术——选区电子衍射SAED、会聚束电子衍射CBED、纳米束电子衍射NBD、旋进…
总结：本文详细介绍了电子衍射技术在半导体异质结构应变缺陷表征中的核心应用，系统阐述了四种关键电子衍射技术——选区电子衍射SAED、会聚束电子衍射CBED、纳米束电子衍射NBD、旋进…
