低能离子枪
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透射电镜样品离子减薄技术：低能损伤控制与非晶化研究
总结：本文围绕透射电镜（TEM）样品的离子减薄制备技术展开，详细介绍了离子减薄过程中损伤（如非晶层形成、表面粗糙化）的产生机制，系统梳理了硅和GaAs材料在不同离子能量、入射角下的…
总结：本文围绕透射电镜（TEM）样品的离子减薄制备技术展开，详细介绍了离子减薄过程中损伤（如非晶层形成、表面粗糙化）的产生机制，系统梳理了硅和GaAs材料在不同离子能量、入射角下的…
