总结：在本文中，读者可学习到不同故障的识别依据（如UI界面提示、设备状态异常表现）与分级处理逻辑（小故障自主排查、严重故障联系工程师），掌握真空恢复、Ceta相机降温、X轴漂移校准等关键实操技巧，了解场发射TEM核心部件（真空系统、相机、光学电路板）的工作特性与故障关联，为TEM日常运维、故障快速响应及保障测试效率提供实用参考。
在上机测试人数众多的开放共享环境下，场发射TEM随着使用时间增加，出现故障在所难免. 发生严重故障时，为保证人员和设备的安全，应立即与维修工程师联系. 对于一些小故障，则可根据经验对故障进行初步的排查解决. 现以Talos F200X TEM为例，对其在日常测试过程中遇到的常见故障及其解决办法进行总结.
1 真空故障
pump, TMP）和三级离子泵组成，其真空室主要包括电子枪室、镜筒和探测器室三个部分，电子枪真空度：-7Pa，镜筒真空度：-5Pa. 随着仪器使用时间和使用人数的增加，由于频繁的样品更换和操作，镜筒非常容易出现真空故障，故障原因有测角台损伤、样品杆损伤及样品污染等.
overview”界面的“Recover”或“Evacuate all”按键[如图1（a）]，即可恢复高真空. 如果真空恢复到All Vacuum
(Closed)状态，但抽真空速度仍较慢，可以检查SuperX EDS能谱仪[如图1（b）]是否被保护. 其被保护时，会导致探头加热，从而影响镜筒里的真空度. 如果SuperX EDS能谱仪是Off状态，可以点击“ON”按键，恢复到Standby状态. 如果“ON”是灰色状态，不能点击，则可能需要重启TEM Sever软件，然后能谱仪的探头会重新制冷，真空就会逐渐恢复. 当一段时间频繁出现破真空，特别是出现拔堵头都会破真空的现象，并且按照上述操作处理无法恢复真空时，则很可能为测角台零件损伤或者球阀污染，需要联系工程师上门检查维修.
图1
2 Ceta相机故障
Stable状态显示为“Off”或者“Unkown”时[如图2（a）]，可以打开Ceta service tool软件的“CSU”选项[如图2（b）]，逐步点击Show details →
Clear history [如图2（c）]→ Reboot CSU[如图2（b）]按键，等待CSU重启成功，在“Basic Operations”选项中勾选“Cooling controlled
by TEM server”选项[如图2（d）]. Ceta相机即可恢复Active状态，然后等待Ceta相机恢复到Stable状态.
图2
3 光学电路板故障
degraded”的提示，同时Ceta相机显示Off状态. Optics: boards degraded，指TEM电子光学系统中的某些电路板出现了性能下降或损坏. 其原因有很多，可能是循环水的问题不能有效散热，也可能是通讯出现问题. 排除是否为循环水问题，可以先在TEM Server软件上选择“Tools”选项[如图3（a）]，再选择“Optics”菜单中的“TstHaING”选项[如图3（b）]，查看boards degraded的原因，点击“Recover”按键. 若图3中红色部分变为绿色，即表示Recover成功，就可以按照步骤2进一步处理Ceta相机问题. 如不能，则需要尽快联系工程师上门检查维修，可能需要更换光学电路板.
图3
4 高压互锁系统故障
interlocks are active”，同时UI界面中“High Tension”按键显示灰色时，表明高压互锁系统故障. 如果TEM其他正常，排除其他原因，有可能是通讯故障导致高压互锁系统故障，此时可以重新加高压，点击“High Tension”按键显示为黄色，然后逐步加高压，即可恢复正常. 如果出现无法手动加高压，可以检查高压互锁系统保护线指示灯是否正常，如果不亮，则可以联系工程师更换高压互锁系统保护线，更换后即可正常加高压.
5 缓冲罐故障
6 X轴漂移
图4
内容源自《分析测试技术与仪器》
文章信息：曾丽珍, 江丹. 基于代管模式的大型仪器管理与维护：以Talos F200X透射电子显微镜为例[J]. 分析测试技术与仪器, 2025, 31(1): 27-33.
本文源自微信公众号：分析测试技术与仪器
作者：fxcsjsyyq
原文标题：《场发射透射电镜的常见故障与解决办法》
原文链接：https://mp.weixin.qq.com/s/JwSU4l-c6y4P4rA43rYzKg
原文发布时间： 2025年3月8日
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