电子背散射衍射分析(EBSD)
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聚焦离子束-扫描电镜(FIB-SEM)分析技术与附件应用
总结:本文先简要回顾扫描电镜(SEM)的工作原理(逐点扫描成像)与核心构造(电子光学系统、信号收集系统、真空系统),再重点介绍聚焦离子束-扫描电镜(FIB-SEM)的常用分析技术(…
总结:本文先简要回顾扫描电镜(SEM)的工作原理(逐点扫描成像)与核心构造(电子光学系统、信号收集系统、真空系统),再重点介绍聚焦离子束-扫描电镜(FIB-SEM)的常用分析技术(…