说明：在XAFS数据中，一条XANES谱线可被合理地分解为一组阶跃函数（atan或erfc）和峰函数（高斯、洛伦兹或福伊特）的组合。这类分析只有在处理一整组相互关联的数据时才最具意义；其局限性在于，这些线型的物理意义比较模糊。
Athena的peak fitting功能是一个很好的定量分析手段，通过对同一组数据的拟合，可以得到元素的变化情况，本次介绍以CeO2元素为例，通过反正切函数与高斯函数对CeO2的边前峰与特征峰拟合，得到样品中Ce价态的定量信息。
打开Athena软件，导入需要拟合的数据。将“Mian window”切换为“Peak fiting”。（切换后作图窗口自动显示E空间的测试数据）
① 拟合范围
这个值一般最小值-15不动，最大值需要看拟合的目标峰大概范围选定的，就是让反正切函数的尾巴能和测试数据尽量在一起，在调整完各拟合峰后也可以再进行修改。同一组对比数据每次使用的拟合范围数值是一样的。
以Ce为例，选择边前-15eV到边后20eV作为拟合范围，这个范围包含了吸收边和特征峰，根据文献信息对其中特定位置的元素进行拟合，切勿随意添加以及改变峰的位置。
② 图表组件
这个需要勾选上，在点击fit后会绘制出添加的各个峰曲线。
③ 反正切函数添加
点击Add step添加一个反正切函数，在Center处输入E0数值并勾选fix固定。
④ 高斯函数添加
点击Add peak添加高斯函数，具体使用几个高斯函数请根据元素以及文献合理添加，Ce的L3边可以拟合四个峰，A：E0=5735.4，B：E0=5728.9，C：E0=5725.1，D：E0=5718.8。所以，依次添加四个高斯函数，并且每个峰位置固定，半高宽不用固定。
⑤ 拟合
点击“Fit”进行拟合。可以适当的调整峰位置（即E0值）、半高宽等，此步骤类似XPS分峰拟合，直至拟合出较完美的图像。
根据文献显示，反正切和高斯函数拟合后的四个峰，其中A、B峰为Ce4+，C峰为Ce3+，D峰为O2p–Ce5d。因此，Ce3+和Ce4+的计算方式为：
可以根据峰面积计算其相应值。
⑥ 数据保存
点击save fit保存数据，直接导入origin就可以做图。
⑦ 显示结果
点击“Fit result”，会显示相应的拟合数据。可以用于同类型样品/原位实验的对比，定量分析手段与XPS类似，区别在于对材料测试的范围不同，XPS光源只能研究表面，XAFS光源可以穿透样品得到整体结果。
