形貌表征
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扫描电子显微镜(SEM)基础原理:工作方式、电子-样品相互作用信号解析
总结:本文详细介绍了扫描电子显微镜(SEM)的基本工作原理及电子与样品相互作用产生的各类信号(二次电子、背散射电子、特征X射线等),涵盖不同信号的产生机制、能量与穿透深度特性、产额…
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FIB 制样损伤修复指南:非晶层问题解析与氩离子修复技术应用
总结:读者可系统学习到FIB制样的操作逻辑与非晶层损伤的形成机制,掌握用氩离子技术去除非晶层的实操要点,了解不同TEM制样方法的适用场景与损伤控制策略,为高精度TEM表征提供样品制…
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场发射扫描电镜(FE-SEM)在锂电硅基负极表征中的应用:性能分析与工艺优化
总结:本文重点阐述了场发射扫描电镜(以Apreo2为例)在硅基负极表征中的具体应用 —— 通过 T1/T2/T3探测器多维度观察循环前后硅基负极的形貌、导电网络及SEI膜变化,辅助…
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TEM 在半导体领域的应用:工艺开发与失效分析案例详解
总结:在本文中,读者可系统学习到利用TEM/HRTEM测量半导体器件关键尺寸(如栅极氧化物厚度、界面层厚度)、分析材料微观结构(如晶粒形态、相组成)的实操思路,掌握半导体失效模式(…
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半导体工业TEM样品制备技术:方法演变、FIB应用与损伤控制
总结:在本文中,读者可系统学习到半导体TEM样品(横截面 / 平面)的针对性制备步骤、FIB技术在特定区域样品制备中的要点,掌握FIB损伤层控制与样品转移的关键技巧,了解不同制备方…
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扫描电镜(SEM)技术全解析:成像原理、核心结构、信号采集与应用指南
总结:本文围绕扫描电镜(SEM)技术展开,系统介绍了SEM的成像原理(电子束扫描与信号检测)、核心结构(电子枪、真空系统、电磁透镜、探测器等)、电子束与样品的相互作用机制(弹性 /…