电沉积原理与实操:电量与沉积质量换算、镀层组织及合金电化学生长方法

说明:本文华算科技主要介绍电沉积的反应原理、电量与沉积质量的换算、镀层组织的形成,以及合金和氢氧化物的电化学生长。
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电沉积的基本含义是什么?

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电沉积利用电极反应在导电基底上形成固体沉积物。在铜、镍等金属的阴极沉积中,外电路向基底供给电子,电解液中的金属物种接受电子后转变为金属,并逐渐形成颗粒、薄膜或较厚的镀层。以含铜离子的溶液为例,净反应可以写成 Cu2++2e→Cu;每生成一个铜原子,反应消耗两个电子。

沉积发生在电解液与可供电子的表面接触处。阴极承担金属还原,阳极承担配套的氧化反应;可溶性铜阳极通过溶解补充铜离子,惰性阳极则可能发生析氧等反应。传统电镀把工件浸入镀液,局部电沉积可把反应区限制在喷嘴下方的液桥内。聚合物表面若要沉积连续金属图案,通常需预先形成导电层。

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图1. 局部电沉积、传统电镀装置及柔性基底上形成的铜、镍图案。DOI:10.1038/s41598-019-55640-7

电镀通常以附着在工件上的保护层或功能层为目标,电铸则利用较厚沉积层形成可脱离模具的金属部件;金属电池充电时的镀锂、镀锌也涉及电沉积。基底、电解质和目标沉积物可以改变:基底可以是金属、导电氧化物或已有种子层的表面,电解质也可以采用非水溶液、熔盐或固体。本文的质量换算以金属阴极沉积为例。

金属还原的平衡电位由参与反应的物种及其活度决定。以η=E−Eeq定义过电位,阴极金属沉积通常发生在负过电位区,实际速率还受电荷转移、离子供应和成核影响。E 是相对于指定参比电极的工作电极电位;电解槽两端电压还包含阳极极化和溶液电阻降,二者在数值上有不同组成。

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沉积电量怎样换算成金属质量?

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在连续阴极沉积期间,将电流绝对值对时间积分,得到总电量 Q=∫|I(t)|dt。法拉第定律把参与金属还原的电量换算为质量:m=MξQ/(nF)。M 是金属摩尔质量,n 是每个金属离子还原所需的电子数,F 约为 96485 C·mol−1,ξ 是分配给该金属沉积的电流效率,以0到1之间的小数表示。

铜在氧化铟锡(ITO)上的恒电位沉积可出现电流随时间衰减、颗粒仍持续长大的情形。电流反映当时的反应速率,积分电量记录此前累计通过的电荷。原子力显微镜(AFM)在不同沉积时间取得的形貌,能检验颗粒尺寸和数目怎样变化;瞬时电流下降本身并没有给出剩余镀层的质量。

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图2. ITO表面铜沉积的电流瞬态及0、15、30、60 s时的AFM形貌。DOI:10.1038/s41467-017-01087-1

若铜沉积的 ξ=1,单位面积通过1 C·cm−2电量,可得到约0.329 mg·cm−2的铜。析氢、其他金属还原和电解液分解会消耗部分电量,电位切换初期的双电层充电也贡献电流。ξ 可由测得的沉积金属质量反算;称量前残留的盐、水分以及基底腐蚀都会改变质量差,金属含量分析可帮助分辨这些贡献。

将质量除以密度ρ和覆盖面积A,h=m/(ρA),得到等效致密厚度。按铜密度8.96 g·cm−3计算,上述电量对应约0.368 μm。这个换算假设沉积物组成已知,并以连续致密膜表示体积;孔隙、未覆盖区域和局部凸起会使真实厚度偏离该数值。截面显微图测几何厚度,AFM测表面高度起伏,二者测量的对象不同。

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图3. 铜、镍沉积层的元素能谱、截面形貌、XRD图谱与AFM表面形貌。DOI:10.1038/s41598-019-55640-7

铜、镍沉积层的元素组成与晶体物相还限定了密度选取。元素能谱确认含有哪些元素,XRD帮助识别金属相和择优取向。若沉积层含氢氧化物、夹杂电解液或存在显著孔隙,直接代入块体纯金属密度,会把沉积物体积估计得过小。反向脉冲含阳极溶解时,沉积电量与溶解电量需分别计算,再求金属净增量。

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电沉积为什么会形成不同的组织?

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晶核形成与离子供应共同影响形貌

新晶核的出现既降低过饱和沉积物的体相自由能,又增加表面和界面能。极小团簇可能重新溶解,达到足够尺寸的晶核才持续长大;基底晶面、台阶、吸附物和过电位都会改变成核代价。随后到达的金属物种可以形成新核,也可以补充已有晶粒。晶核数目及其空间分布会影响颗粒间距、晶粒碰合和膜层覆盖。

含柠檬酸钠的铜盐溶液中,ITO基底在不同电位下可形成分散颗粒、片层或枝状沉积。阴极反应加快时,近表面铜离子的消耗可能超过补给速度,浓度梯度与凸起附近的离子通量随形貌一起演变。突出部位持续获得沉积物,枝状结构便可能长大。添加剂对晶面的选择性吸附还会改变纵向与横向生长速度。

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图4. 相同沉积时间下,不同电位形成的铜颗粒、片层与枝状结构及生长示意。DOI:10.1038/srep34779

上述比较保持沉积时间相同,各电位下累计电量仍可能不同。电位变化引起的形貌差异中,既可能含有生长速率变化,也可能含有沉积量变化。把单位面积沉积质量、镀液浓度、搅拌条件和基底状态固定,才便于辨认成核密度或添加剂吸附的作用;枝状形貌的出现也受金属种类和晶体各向异性影响。

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原子尺度计算怎样解释结晶

DFT可比较吸附构型、界面结合能和原子迁移能垒,例如台阶位与平台位对沉积原子的作用差异。有限温度下的结晶则涉及大量原子持续重排。锂与氧化锂界面的经典分子动力学模拟,通过向界面加入锂原子,追踪无序、随机六方密堆积和体心立方局域结构的数量;金属原子进入界面后可以经历多种排列,再形成晶体。

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图5. 锂与固体界面接触的原子模型、沉积期间的结构演化、单位面积能量及不同局域结构原子数。DOI:10.1038/s41467-023-38757-2

这类轨迹使用预设的原子间相互作用势和锂原子加入速率,解析的是原子重排,未直接模拟离子接受电子的反应。DFT所得的单原子吸附能、迁移能垒也各有指定参考态和表面构型。若研究电位如何改变电子转移,模型需处理表面电荷与电解质响应;若研究微米尺度镀层生长,还需描述离子输运、局部反应速率及移动的沉积界面。

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电沉积怎样得到合金和氢氧化物?

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钴、镍共沉积时,各金属分电流随配位状态、界面反应速率和传质条件变化,使固体中的金属比例偏离溶液浓度比例。总电流还包含副反应;对其中一种金属计算沉积量时,应使用分配给它的电量及相应电子数。共沉积产物可以是固溶体、金属间化合物或多相混合物,物相鉴定需落实到衍射和局部原子配位。

钴、镍在稀氯化物或硫酸盐溶液中的沉积起始电位接近;在浓氯化物电解液中,钴形成稳定的[CoCl4]2−络离子,镍的主要配位物种则不同。两者还原起点与电流响应发生分离,沉积物的Co/Ni原子比随电位改变。仅按金属标准电位排列顺序,会遗漏实际溶液中的络合与反应动力学。

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图6. 不同支持电解质中钴、镍的线性扫描伏安曲线及共存溶液形成沉积物的Co/Ni原子比。DOI:10.1038/s41467-021-26814-7

含镍、铁硝酸盐的镀液在阴极反应中产生OH电极附近pH升高,促使金属离子在表面生成氢氧化物沉积。此时电子参与硝酸根还原等反应,固体形成包含后续沉淀步骤,不能沿用纯金属还原的化学计量来计算沉积物质量。

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图7. 泡沫镍上镍铁氢氧化物纳米片的SEM、TEM及电子衍射图像。DOI:10.1038/ncomms7616

镍铁氢氧化物纳米片的金属比例、含水量与结晶程度会影响称量结果和衍射信号。沉积电量可以约束电极反应消耗的电子数,沉积物的质量还受离子捕集和沉淀产率影响。对薄层或低结晶沉积物,XRD可能主要显示基底峰,TEM与电子衍射可补充纳米片形貌及局部结构信息。

 

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