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制备半导体材料
制备半导体材料
材料科学与工程
化学气相沉积(CVD)技术详解:反应类型、分类及 GaN 纳米棒制备应用
说明:本文系统解析化学气相沉积(CVD)技术原理(热分解/化学合成/传输反应)、分类(温度/压力/能量输入方式)及核心应用场景,并详述其在半导体薄膜(如GaN纳米棒)、电池材料(碳…
华算科技
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